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友達(dá)光電用氧化物TFT開發(fā)出37英寸全高清液晶面板
[投影之窗消息]
根臺(tái)灣友達(dá)光電用基于透明非晶氧化物半導(dǎo)體（TAOS）的TFT（TAOS-TFT）試制出了全高清37英寸液晶面板。TAOS-TFT液晶面板開發(fā)此前最大尺寸止步于20英寸以下，此次一舉實(shí)現(xiàn)了大尺寸化。樣品面板使用的TAOS-TFT，是將源電極和漏電極設(shè)在溝道側(cè)面的同一平面型，溝道材料為非晶IGZO。AUO在演講中出示的TAOS-TFT試制結(jié)果顯示，以柵極寬度和長(zhǎng)度分別為22μm和5μm的元件，實(shí)現(xiàn)了載流子遷移率10～13cm2/Vs，開/關(guān)比108以上的良好特性。即便是經(jīng)常碰到的TAOS-TFT元件特性不穩(wěn)定問題，也通過在IGZO成膜后實(shí)施N2O等離子處理以及改善鈍化方法等使其得到了控制
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